半導(dǎo)體潔凈室建設(shè)地面施工工藝規(guī)范
2025-11-20
半導(dǎo)體潔凈室地面系統(tǒng)需滿(mǎn)足嚴(yán)格的物理化學(xué)性能指標(biāo)。根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)及《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》,地面系統(tǒng)應(yīng)具備以下特性:平整度誤差≤2mm/2m,耐磨轉(zhuǎn)數(shù)≥2000轉(zhuǎn),抗壓強(qiáng)度≥80MPa,系統(tǒng)電阻控制在1×10^6~1×10^9Ω。同時(shí)需滿(mǎn)足防靜電、耐化學(xué)品腐蝕、抗熱沖擊等特殊要求。
查看更多